Kovane aluminijaste plošče iz polprevodnikov: 6061‑T652 in 5083‑H112 za vrhunsko vakuumsko opremo

Oprema za proizvodnjo polprevodnikov nalaga izjemno stroge zahteve glede kovinskih substratov. Manjše deformacije pri obdelavi ali nestabilna utrujenost lahko povzročijo izpad opreme in proizvodne izgube. Naše visokokakovostne kovane aluminijaste plošče podjetja Hongshan Forging, vključno zRazred 6061‑T652 in 5083‑H112 / 5083‑O, so zasnovani tako, da izpolnjujejo stroge zahteve polprevodniških vakuumskih sistemov. Postali so zanesljive materialne možnosti za velike komorne strukture.

Konvencionalne valjane aluminijaste plošče se po CNC obdelavi očitno deformirajo, zlasti pri prevelikih obdelovancih. Kovane aluminijaste plošče 6061‑T652 zagotavljajo izjemno togost in minimalno deformacijo. Njihova deformacija po obdelavi je nadzorovana znotraj ≤0,03 mm na meter, kar zmanjša tveganje deformacije za 60 % v primerjavi s standardnimi valjanimi aluminijastimi ploščami. Zaradi te lastnosti so popolnoma primerne za komponente komor velikega formata, kot so stranske plošče vakuumskih komor dimenzij 1,5 m × 3 m. Nizka preostala napetost ohranja dimenzijsko stabilnost med postopki rezanja, rezkanja in sestavljanja.

Za dele, ki se ciklično gibljejo v vakuumskem okolju,5083‑H112 kovane aluminijaste stojkez vrhunsko dolgoročno uporabnostjo. Njegova utrujenostna trdnost doseže 120 MPa. Izboljšana mehanska lastnost je primerna za visokofrekvenčno gibljive komponente, kot so roke za prenos rezin v polprevodniških orodjih. Tudi pri ponavljajočih se cikličnih obremenitvah je kovana mikrostruktura odporna na utrujenostne razpoke in podaljšuje življenjsko dobo komponent.

Te specializirane kovane aluminijeve zlitine se uporabljajo v ključnih strojih za obdelavo polprevodnikov. Tipične uporabe vključujejo ohišja jedkalnih komor, okvirje opreme za nanašanje tankih filmov in vodilne tirnice za kontrolne sisteme. Vsaka kovana plošča je podvržena popolnim metalurškim preizkusom, ki zagotavljajo dosledno notranjo strukturo zrn in tesne dimenzijske tolerance.

Kot vaš zaupanja vreden dobavitelj dobavljamo pristne kovane aluminijaste plošče Hongshan, ki podpirajo naročila v razsutem stanju in obdelavo po meri. Naša tehnična ekipa nudi svetovanje o materialih, ki ustrezajo specifikacijam vaše vakuumske opreme.

Če iščete vir z nizkim popačenjemkovane aluminijaste plošče za polprevodnikeproizvodne stroje, nas kontaktirajte. Pridobite ponudbe neposredno iz tovarne in celotno izvozno dokumentacijo za vaše ključne industrijske projekte.